NITROGEN INCORPORATION INTO HARD FLUORINATED CARBON FILMS NANOSCALE FRICTION AND STRUCTURAL MODIFICATIONS

Descripción del Articulo

La incorporación del nitrógeno en películas duras de carbono fluorado, depositadas por la descomposición de un plasma de radio frecuencia en un ambiente de CH4-CF4-N2, fue estudiada. Las características estructurales y químicas de las peliculas fueron realizadas por espectroscopia Raman, espectrosco...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autores: Sanchez T., C. M., H. Maia da Costa, M. E., Freire Jr, F. L.
Formato: artículo
Fecha de Publicación:2005
Institución:Universidad Nacional Mayor de San Marcos
Repositorio:Revistas - Universidad Nacional Mayor de San Marcos
Lenguaje:español
OAI Identifier:oai:ojs.csi.unmsm:article/8549
Enlace del recurso:https://revistasinvestigacion.unmsm.edu.pe/index.php/fisica/article/view/8549
Nivel de acceso:acceso abierto
Materia:Espectroscopia Rama
espectroscopia fotoelectrònica inducida por rayos X
películas nanoescalares
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