La incorporación del nitrógeno en películas duras de carbono fluorado, depositadas por la descomposición de un plasma de radio frecuencia en un ambiente de CH4-CF4-N2, fue estudiada. Las características estructurales y químicas de las peliculas fueron realizadas por espectroscopia Raman, espectroscopia fotoelectronica inducida por rayos X (XPS)y análisis por haz de iones. Estos resultados demuestran que la incorporación de nitrógeno ocurre a costas del contenido de carbono en las películas y que da lugar a un aumento del tamaño y del numero de los dominios gráficos. Los espectros de XPS demuestran la existencia de nitrógeno incorporado, ambos en los anillos aromáticos y como radicales terminales. El comportamiento de la fricción de las películas fue investigado por microscopia de fuerzas atómicas. La importancia de la incorporación de nitrógeno para la hidrofobicidad s...