Producción y caracterización de multicapas de alta dureza basadas en nitruro de titanio por técnica DC Magnetrón Sputtering

Descripción del Articulo

In this thesis we explore the possibilities to obtain hardness enhancement in three different types of multilayer system: TiN/AlN, TiN/NbN and TiN/TaN, produced by bias-dc magnetron sputtering under the same deposition conditions. Multilayer structure and chemical composition were confirmed by GDOES...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autor: Asencios Rojas, Junior David
Formato: tesis de maestría
Fecha de Publicación:2016
Institución:Consejo Nacional de Ciencia Tecnología e Innovación
Repositorio:CONCYTEC-Institucional
Lenguaje:español
OAI Identifier:oai:repositorio.concytec.gob.pe:20.500.12390/2056
Enlace del recurso:https://hdl.handle.net/20.500.12390/2056
Nivel de acceso:acceso abierto
Materia:Técnica DC Magnetrón Sputtering
Caracterización de multicapas
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