En este tesis se exploran las posibilidades de obtener mejoras en la dureza en tres tipos diferentes de sistemas de multicapa: TiN/AlN, TiN/NbN y TiN/TaN, producidos por la técnica bias-dc magnetron sputtering en las mismas condiciones de deposición. La estructura de las múltiples capas y su composición química fueron confirmadas por GDOES (Espectroscopia de Emisión Óptica en Descarga Luminosa). Se muestran también análisis químicos complementarios por AES y EDS. La estructura cristalina de las capas componentes se estudió mediante XRD (difracción de rayos X). La microdureza se midió mediante el uso de un microdurómetro Vickers clásico y SEM (Microscopía Electrónica de Barrido), así como, por nanoindentación. La corriente de corrosión se determinó por método de extrapolación Tafel.

La producción de películas delgadas de nitruro de titanio (TiN) y de algunos óxidos, por la técnica dc magnetrón sputtering, fue usada en el desarrollo de esta tesis. Se produjeron estructuras de multicapas PD/TiN, PD/TiN/SiO2 y PD/TiN/SiO2/Nb2O5, donde PD significa prisma en forma de D. Se realizaron experimentos de reflexión total atenuada (ATR) en la configuración de Kretschmann para tres tipos de estructuras PD/TiN/aire, PD/TiN/SiO2/aire y PD/TiN/SiO2/Nb2O5/S, siendo S un medio con índice de refracción menor que el de pentóxido de niobio (n = 2.2), obteniéndose así espectros angulares (reflectancia vs ángulo de incidencia). Para las estructuras PD/TiN/aire con prismas hechos de zafiro o de vidrio se observó una banda de absorción ancha en los espectros angulares, para ángulos de incidencia entre 36o y 85o, con un ancho completo a la mitad del máximo (FWHM) de aproxim...

In this thesis we explore the possibilities to obtain hardness enhancement in three different types of multilayer system: TiN/AlN, TiN/NbN and TiN/TaN, produced by bias-dc magnetron sputtering under the same deposition conditions. Multilayer structure and chemical composition were confirmed by GDOES (Glow discharge optical emission spectroscopy). Complementary chemical analyses were also carried out by AES and EDS. Crystalline structure of component layers was studied by XRD (X-ray diffraction). Microhardness was measured by using a classic Vickers microdurometer and SEM (Scanning electron microscopy), as well as, by nanoindentation. Corrosion current was determined by Tafel extrapolation metho

Esta tesis propone la resonancia fano en filtros como sensores de resonancia de plasmón de superficie de alta resolución por acoplamiento de las guías de ondas planas y los polaritones de plasmón de superficie. La nanoestructura propuesta en los dos casos es Vidrio/TiN/MgF2/Nb2O5. Se muestra en el espectro de reflectancia la forma lineal asimétrica de la resonancia fano aparen en la curva de resonancia de plasmón de superficie como la transparencia inducida por plasmón. Las propiedades de la resonancia fano se puede manipular modulando el espesor de las capas de acoplamiento y la guía de onda. También se presentan los perfiles del campo eléctrico en la posición de la resonancia fano como todas las posiciones de la interface mostrando una naturaleza híbrida. Las curvas fano se puede usar para monitorear los cambios mínimos de los índices de refracción circundante como de ga...