Producción y caracterización de multicapas de alta dureza basadas en nitruro de titanio por técnica DC Magnetrón Sputtering
Descripción del Articulo
In this thesis we explore the possibilities to obtain hardness enhancement in three different types of multilayer system: TiN/AlN, TiN/NbN and TiN/TaN, produced by bias-dc magnetron sputtering under the same deposition conditions. Multilayer structure and chemical composition were confirmed by GDOES...
| Autor: | |
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| Formato: | tesis de maestría |
| Fecha de Publicación: | 2016 |
| Institución: | Consejo Nacional de Ciencia Tecnología e Innovación |
| Repositorio: | CONCYTEC-Institucional |
| Lenguaje: | español |
| OAI Identifier: | oai:repositorio.concytec.gob.pe:20.500.12390/2056 |
| Enlace del recurso: | https://hdl.handle.net/20.500.12390/2056 |
| Nivel de acceso: | acceso abierto |
| Materia: | Técnica DC Magnetrón Sputtering Caracterización de multicapas https://purl.org/pe-repo/ocde/ford#1.03.00 |
| Sumario: | In this thesis we explore the possibilities to obtain hardness enhancement in three different types of multilayer system: TiN/AlN, TiN/NbN and TiN/TaN, produced by bias-dc magnetron sputtering under the same deposition conditions. Multilayer structure and chemical composition were confirmed by GDOES (Glow discharge optical emission spectroscopy). Complementary chemical analyses were also carried out by AES and EDS. Crystalline structure of component layers was studied by XRD (X-ray diffraction). Microhardness was measured by using a classic Vickers microdurometer and SEM (Scanning electron microscopy), as well as, by nanoindentation. Corrosion current was determined by Tafel extrapolation metho |
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Nota importante:
La información contenida en este registro es de entera responsabilidad de la institución que gestiona el repositorio institucional donde esta contenido este documento o set de datos. El CONCYTEC no se hace responsable por los contenidos (publicaciones y/o datos) accesibles a través del Repositorio Nacional Digital de Ciencia, Tecnología e Innovación de Acceso Abierto (ALICIA).
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