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In this paper we report the production of a prototype of all-solid rechargeable ion-lithium microbatteries based on thin films produced by de and rf magnetron sputtering techniques. The anode is made of Li Al films, the electrolyte is made of an amorphous film of lithium phosphorus oxynitride (LiPON), the cathode is a film of lithium cobalt oxide (Li Coo). Besides the production process for the different components and the battery itself, here we report the characterization of the LiPON films by UV/Visible spectrophotometry and infrared spectrometry, as well, the characterization of Li CoO, by infrared spectrometry.

We report here the production of TiN and TiVN hard coatings on stainless steel and high speed steel by the magnetron sputtering technique. The composite Vickers hardness, or hardness of the substrate plus coating system, was measured with the help of the Buehler Micromet 2101 micro-hardness tester. All the results obtained indicate a value of the composite hardness greater than that of the substrate. Following a model previously proposed by other authors, the contribution of the hardness of the coatings to the composite hardness has been determined. The thickness of the layers, over a period of 140 minutes, is on average 4.3 um. The hardness values ​​obtained range between 1100 and 2200 kg/mm2.

En este artículo se reporta la producción de un prototipo de microbaterías recargables de iones de litio totalmente sólidas basadas en películas delgadas producidas por las técnicas de y rf magnetrón sputtering. El ánodo está constituido por películas de LixAl, el electrolito por una película amorfa, sólida de oxinitruro de fósforo y litio (LiPON) y el cátodo por películas delgadas de óxido de cobalto y litio (LixCoO2). Además del proceso de producción de los diferentes componentes y del ensamblaje de las mismas reportamos también la caracterización de las películas de LiPON por espectrofotometría UV/Visible y por espectrometría infrarroja, así como, la caracterización de las películas de LixCoO2, por espectrometría infrarroja.