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Publicado 2005
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En este artículo se reporta la producción de un prototipo de microbaterías recargables de iones de litio totalmente sólidas basadas en películas delgadas producidas por las técnicas de y rf magnetrón sputtering. El ánodo está constituido por películas de LixAl, el electrolito por una película amorfa, sólida de oxinitruro de fósforo y litio (LiPON) y el cátodo por películas delgadas de óxido de cobalto y litio (LixCoO2). Además del proceso de producción de los diferentes componentes y del ensamblaje de las mismas reportamos también la caracterización de las películas de LiPON por espectrofotometría UV/Visible y por espectrometría infrarroja, así como, la caracterización de las películas de LixCoO2, por espectrometría infrarroja.