Producción y caracterización de multicapas de alta dureza basadas en nitruro de titanio por técnica DC Magnetrón Sputtering
Descripción del Articulo
En este tesis se exploran las posibilidades de obtener mejoras en la dureza en tres tipos diferentes de sistemas de multicapa: TiN/AlN, TiN/NbN y TiN/TaN, producidos por la técnica bias-dc magnetron sputtering en las mismas condiciones de deposición. La estructura de las múltiples capas y su composi...
| Autor: | |
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| Formato: | tesis de maestría |
| Fecha de Publicación: | 2016 |
| Institución: | Universidad Nacional de Ingeniería |
| Repositorio: | UNI-Tesis |
| Lenguaje: | español |
| OAI Identifier: | oai:cybertesis.uni.edu.pe:20.500.14076/5653 |
| Enlace del recurso: | http://hdl.handle.net/20.500.14076/5653 |
| Nivel de acceso: | acceso abierto |
| Materia: | Caracterización de multicapas Nitruro de Titanio Técnica DC Magnetrón Sputtering |
| Sumario: | En este tesis se exploran las posibilidades de obtener mejoras en la dureza en tres tipos diferentes de sistemas de multicapa: TiN/AlN, TiN/NbN y TiN/TaN, producidos por la técnica bias-dc magnetron sputtering en las mismas condiciones de deposición. La estructura de las múltiples capas y su composición química fueron confirmadas por GDOES (Espectroscopia de Emisión Óptica en Descarga Luminosa). Se muestran también análisis químicos complementarios por AES y EDS. La estructura cristalina de las capas componentes se estudió mediante XRD (difracción de rayos X). La microdureza se midió mediante el uso de un microdurómetro Vickers clásico y SEM (Microscopía Electrónica de Barrido), así como, por nanoindentación. La corriente de corrosión se determinó por método de extrapolación Tafel. |
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Nota importante:
La información contenida en este registro es de entera responsabilidad de la institución que gestiona el repositorio institucional donde esta contenido este documento o set de datos. El CONCYTEC no se hace responsable por los contenidos (publicaciones y/o datos) accesibles a través del Repositorio Nacional Digital de Ciencia, Tecnología e Innovación de Acceso Abierto (ALICIA).
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