Mecanismos de electromigración en interconexiones de película delgada metálica
Descripción del Articulo
En el presente trabajo se analizó y describió los diferentes mecanismos de electromigración en interconexiones de película delgada metálica, el estudio se restringió a un enfoque teórico. El flujo atómico de los diversos mecanismos de electromigración en interconexiones de película delgada metálica...
| Autor: | |
|---|---|
| Formato: | tesis de grado |
| Fecha de Publicación: | 2023 |
| Institución: | Universidad Nacional de Piura |
| Repositorio: | UNP-Institucional |
| Lenguaje: | español |
| OAI Identifier: | oai:repositorio.unp.edu.pe:20.500.12676/4427 |
| Enlace del recurso: | https://repositorio.unp.edu.pe/handle/20.500.12676/4427 |
| Nivel de acceso: | acceso abierto |
| Materia: | electromigración película delgada metálica flujo estructura interconexiones http://purl.org/pe-repo/ocde/ford#1.03.03 |
| Sumario: | En el presente trabajo se analizó y describió los diferentes mecanismos de electromigración en interconexiones de película delgada metálica, el estudio se restringió a un enfoque teórico. El flujo atómico de los diversos mecanismos de electromigración en interconexiones de película delgada metálica fue determinado, asimismo se desarrolló una relación entre el tiempo de vida útil de una interconexión metálica de película delgada y la densidad de flujo de electromigración. Se establece que el mecanismo dominante del fenómeno de electromigración es el de difusión debido a la disminución de la energía de activación a través de los límites de grano. |
|---|
Nota importante:
La información contenida en este registro es de entera responsabilidad de la institución que gestiona el repositorio institucional donde esta contenido este documento o set de datos. El CONCYTEC no se hace responsable por los contenidos (publicaciones y/o datos) accesibles a través del Repositorio Nacional Digital de Ciencia, Tecnología e Innovación de Acceso Abierto (ALICIA).
La información contenida en este registro es de entera responsabilidad de la institución que gestiona el repositorio institucional donde esta contenido este documento o set de datos. El CONCYTEC no se hace responsable por los contenidos (publicaciones y/o datos) accesibles a través del Repositorio Nacional Digital de Ciencia, Tecnología e Innovación de Acceso Abierto (ALICIA).
