Determinación de la topografía superficial de películas delgadas de TiO2 y SiC mediante interferometría tipo Michelson

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El presente trabajo de tesis propone un método para determinar la topografía superficial de muestras de películas delgadas de TiO2 y SiC, mediante el análisis de interferogramas con técnicas de interferometría de desplazamiento de fase. Los interferogramas son obtenidos desde un microscopio interfer...

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Detalles Bibliográficos
Autor: Choque Aquino, Jovanetty Iván
Formato: tesis de maestría
Fecha de Publicación:2016
Institución:Pontificia Universidad Católica del Perú
Repositorio:PUCP-Institucional
Lenguaje:español
OAI Identifier:oai:repositorio.pucp.edu.pe:20.500.14657/145166
Enlace del recurso:http://hdl.handle.net/20.500.12404/7495
Nivel de acceso:acceso abierto
Materia:Interferometría
Películas delgadas
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