Surface measurement with super-resolution of aluminum thin films by using phase-shifting interferometry

Descripción del Articulo

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Detalles Bibliográficos
Autor: Choque Aquino, Jovanetty Ivan
Formato: tesis doctoral
Fecha de Publicación:2021
Institución:Superintendencia Nacional de Educación Superior Universitaria
Repositorio:Registro Nacional de Trabajos conducentes a Grados y Títulos - RENATI
Lenguaje:inglés
OAI Identifier:oai:renati.sunedu.gob.pe:renati/3018
Enlace del recurso:https://renati.sunedu.gob.pe/handle/sunedu/3071770
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Nivel de acceso:acceso abierto
Materia:Medición de fase
Cambios de fase no uniformes
Distorsión de ondulatoria
Pistón espurio
Interferometría
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spelling Servin Guirado, ManuelChoque Aquino, Jovanetty Ivan2022-01-21T15:10:36Z2022-01-21T15:10:36Z2021-05https://renati.sunedu.gob.pe/handle/sunedu/3071770http://cio.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1002/1213Descargue el texto completo en el repositorio institucional del Centro de Investigaciones en Óptica: http://cio.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1002/1213En esta disertación presentamos un procedimiento para medir la fase de interferogramas de desplazamiento de fase no uniformes con el fin de estimar la topografía de la superficie de una película delgada de aluminio. Los interferogramas se obtienen de un microscopio interferencial de Michelson, y los cambios de fase entre los interferogramas son no uniformes porque un transductor piezoeléctrico (PZT), que trabaja en modo de bucle abierto, se utiliza como desplazador de fase. Los cambios de fase no uniformes generan dos tipos de errores en las mediciones de fase: la distorsión de ondulación de doble frecuencia y el pistón espurio. Por lo tanto, para superar los errores antes mencionados, diseñamos algoritmos de corrección de errores y de desplazamiento de fase (PSA) no iterativos.In this dissertation, we present a procedure to measure the phase from non-uniform phase-shifting interferograms in order to estimate the surface topography of an aluminum thin film. Interferograms are acquired from a Michelson interferential microscope, and phase shifts among interferograms are non-uniform because a piezoelectric transducer (PZT), working in open-loop mode, is used as phase shifter. Non-uniform phase shifts generate two types of errors in phase measurements: the double-frequency ripple distortion and the spurious piston. Thus, in order to overcome the aforementioned errors, we design error-correcting and non-iterative phase shifting algorithms (PSAs).México. Consejo Nacional de Ciencia y Tecnología (Conacyt)application/pdfengCentro de Investigaciones en ÓpticaMXinfo:eu-repo/semantics/openAccessSuperintendencia Nacional de Educación Superior Universitaria - SUNEDURegistro Nacional de Trabajos de Investigación - RENATIreponame:Registro Nacional de Trabajos conducentes a Grados y Títulos - RENATIinstname:Superintendencia Nacional de Educación Superior Universitariainstacron:SUNEDUMedición de faseCambios de fase no uniformesDistorsión de ondulatoriaPistón espurioInterferometríahttps://purl.org/pe-repo/ocde/ford#1.03.06Surface measurement with super-resolution of aluminum thin films by using phase-shifting interferometryMedición de superficies con super resolución de películas delgadas de aluminio mediante interferometría de desplazamiento de faseinfo:eu-repo/semantics/doctoralThesisCentro de Investigaciones en ÓpticaÓpticaDoctor en Ciencias - Ópticahttp://purl.org/pe-repo/renati/level#doctorhttps://orcid.org/0000-0001-6968-204442730400http://purl.org/pe-repo/renati/type#tesisORIGINALChoqueAquinoJI.pdfChoqueAquinoJI.pdfTesis (abierta en repositorio de origen)application/pdf570640https://renati.sunedu.gob.pe/bitstream/renati/3018/1/ChoqueAquinoJI.pdf928deca9d35dd4527646ccaf8d3c2129MD51Autorizacion.pdfAutorizacion.pdfAutorización del registroapplication/pdf246288https://renati.sunedu.gob.pe/bitstream/renati/3018/2/Autorizacion.pdfa59a958a8de683ca4243d634a4dba948MD52LICENSElicense.txtlicense.txttext/plain; charset=utf-81748https://renati.sunedu.gob.pe/bitstream/renati/3018/3/license.txt8a4605be74aa9ea9d79846c1fba20a33MD53TEXTChoqueAquinoJI.pdf.txtChoqueAquinoJI.pdf.txtExtracted texttext/plain95083https://renati.sunedu.gob.pe/bitstream/renati/3018/4/ChoqueAquinoJI.pdf.txt847b6a7ba8e3a83cdde37b751e013a87MD54Autorizacion.pdf.txtAutorizacion.pdf.txtExtracted texttext/plain3211https://renati.sunedu.gob.pe/bitstream/renati/3018/6/Autorizacion.pdf.txt7d6ae8d746f7c69ee0df20e5e133e5ebMD56THUMBNAILChoqueAquinoJI.pdf.jpgChoqueAquinoJI.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg1592https://renati.sunedu.gob.pe/bitstream/renati/3018/5/ChoqueAquinoJI.pdf.jpga5daff74a7e89aa598dd9be17d571a3dMD55Autorizacion.pdf.jpgAutorizacion.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg1653https://renati.sunedu.gob.pe/bitstream/renati/3018/7/Autorizacion.pdf.jpg6676f38edf9ad6eb2270b95d37340c0dMD57renati/3018oai:renati.sunedu.gob.pe:renati/30182022-12-14 03:32:43.758Registro Nacional de Trabajos de Investigaciónrenati@sunedu.gob.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