Análisis de interferogramas con el método de la transformada de Fourier para reconstruir en 3-D la forma de superficie de una película delgada de TiO2

• Autor: Choque Aquino, Jovanetty Ivan
• Formato: tesis de grado
• Fecha de Publicación: 2014
• Institución: Universidad Nacional Jorge Basadre Grohmann
• Repositorio: UNJBG-Institucional
• Lenguaje: español
• OAI Identifier: oai:172.16.0.151:UNJBG/1908
• Enlace del recurso: http://repositorio.unjbg.edu.pe/handle/UNJBG/1908
• Nivel de acceso: acceso abierto
• Materia: Medición; Microscopio electrónico; Óptica

El presente trabajo describe el análisis de un patrón de franjas de interferencia (Interferograma) por el método de la transformada de Fourier para medir el espesor de una película delgada de dióxido de titanio (TiO2) depositado sobre un substrato de vidrio. Con tal propósito se ha diseñado e implementado una aplicación en MATLAB® para obtener la fase óptica de un interferograma, con la cual se ha reconstruido en 3-D la forma de superficie de una película delgada de TiO2 con el propósito de determinar su espesor y analizar su rugosidad y singularidades. Desde un interferómetro tipo Twymann – Green se obtiene el patrón de franjas de interferencia producto de la superposición de dos frentes de onda: uno que se refleja desde la superficie de la película delgada y otro desde un espejo plano de referencia. Mediante una cámara CCD conectada a un computador, se digitaliza un interferograma, dicho interferograma contiene información de fase producto de la diferencia de camino óptico (DCO) entre los dos haces de luz que interfieren. Finalmente se ha reconstruido una porción de película delgada de TiO2 con un espesor estimado de 387.48 ± 3.96 nm en una superficie de 4992x6656 μm2, cálculo que se ha realizado teniendo en cuenta las condiciones ambientales (Temperatura, humedad y presión atmosférica).