Preparation and physical characterization of amorphous silicon semiconductor films

Descripción del Articulo

In this work, we present our first results in the elaboration and characterization of thin film amorphous silicon (a-Si: H). The films were obtained by an original reactiv “DC glow discharge” process, which, compared to other results obtained with the same equipment, show now very Good optical quali...

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Detalles Bibliográficos
Autores: Fernández Chillcce, Enver, Eyzaguirre Gorvenia, Carmen, Valera Palacios, Aníbal
Formato: artículo
Fecha de Publicación:1999
Institución:Universidad Nacional de Ingeniería
Repositorio:Revistas - Universidad Nacional de Ingeniería
Lenguaje:español
OAI Identifier:oai:oai:revistas.uni.edu.pe:article/442
Enlace del recurso:https://revistas.uni.edu.pe/index.php/tecnia/article/view/442
Nivel de acceso:acceso abierto
Descripción
Sumario:In this work, we present our first results in the elaboration and characterization of thin film amorphous silicon (a-Si: H). The films were obtained by an original reactiv “DC glow discharge” process, which, compared to other results obtained with the same equipment, show now very Good optical quality. This goal allows us the measurement of the optical parameters (n, k) of our probes in a great spectral range. At this report, we show also some complementary results related to the semiconductor behaviour as the electrical conductivity and seebeck effect.
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