Crecimiento de películas delgadas de LaAlO3 sobre sustratos de SrTiO3 mediante la técnica MOD

• Autor: Ampuero Torres, José Luis
• Formato: tesis de grado
• Fecha de Publicación: 2018
• Institución: Universidad Nacional de Ingeniería
• Repositorio: UNI-Tesis
• Lenguaje: español
• OAI Identifier: oai:cybertesis.uni.edu.pe:20.500.14076/13254
• Enlace del recurso: http://hdl.handle.net/20.500.14076/13254
• Nivel de acceso: acceso abierto
• Materia: Física - Experimentos; Descomposición orgánica del metal (MOD); LaAIO3; https://purl.org/pe-repo/ocde/ford#1.03.06

En esta tesis se han obtenido películas delgadas de LAO sobre sustratos de STO mediante la técnica metal organic decomposition (MOD) a partir de disolver precursores de La (C5H7O2)3 y Al (C5H7O2)3 en ácido propiónico. Este proceso consiste en crecer películas delgadas a través de la técnica dip-coating y realizar después un tratamiento térmico. Después de obtener diferentes soluciones con diferentes razones en las concentraciones de los cationes de La y Al, se obtuvo que la razón óptima es 0,5, la cual conduce a obtener películas delgadas de LAO de una sola fase crecidas epitaxialmente sobre el sustrato de STO. Estos recubrimientos fueron analizados mediante la difracción de rayos X para obtener información de la estructura y de las fases obtenidas en los recubrimientos. Así como también se realizó la reflectometría de rayos X para estimar el espesor y la densidad. Y finalmente se analizó mediante la microscopía electrónica de transmisión para verificar si las películas delgadas crecen epitaxialmente.