Aplicaciones de la física de plasmas en la industria

Descripción del Articulo

Se presentan las características y propiedades del estado ionizado de la materia, conocido como “plasma”, así como la clasificación, ventajas y beneficios que esta tecnología proporciona en diversas aplicaciones industriales. También se describen los reactores más utilizados para estos procesos: los...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autor: Saettone Olschewski, Erich Arturo
Formato: artículo
Fecha de Publicación:2010
Institución:Universidad de Lima
Repositorio:ULIMA-Institucional
Lenguaje:español
OAI Identifier:oai:repositorio.ulima.edu.pe:20.500.12724/2572
Enlace del recurso:https://hdl.handle.net/20.500.12724/2572
https://doi.org/10.26439/ing.ind2010.n028.247
Nivel de acceso:acceso abierto
Materia:Tecnología del plasma
Plasma physics
Plasma technology
Plasma CVD
Plasma PVD
Física del plasma
id RULI_ac9a90139b818895e78127fce8fe48bb
oai_identifier_str oai:repositorio.ulima.edu.pe:20.500.12724/2572
network_acronym_str RULI
network_name_str ULIMA-Institucional
repository_id_str 3883
spelling Saettone Olschewski, Erich ArturoSaettone Olschewski, Erich Arturo2010Saettone Olschewski, E. (2010). Aplicaciones de la física de plasmas en la industria. Ingeniería Industrial, (28), 195-210. Recuperado de http://revistas.ulima.edu.pe/index.php/Ingenieria_industrial/article/view/247/2231025-9929https://hdl.handle.net/20.500.12724/2572Ingeniería Industrialhttps://doi.org/10.26439/ing.ind2010.n028.247Se presentan las características y propiedades del estado ionizado de la materia, conocido como “plasma”, así como la clasificación, ventajas y beneficios que esta tecnología proporciona en diversas aplicaciones industriales. También se describen los reactores más utilizados para estos procesos: los de evaporación iónica (sputtering) de tipo glow discharge y los de resonancia ciclotrónica electrónica (ECR).application/pdfspaUniversidad de LimaPEurn:issn:1025-9929http://revistas.ulima.edu.pe/index.php/Ingenieria_industrial/article/view/247/223info:eu-repo/semantics/openAccesshttps://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/Repositorio Institucional - UlimaUniversidad de Limareponame:ULIMA-Institucionalinstname:Universidad de Limainstacron:ULIMATecnología del plasmaPlasma physicsPlasma technologyPlasma CVDPlasma PVDFísica del plasmaAplicaciones de la física de plasmas en la industriainfo:eu-repo/semantics/articleArtículoLICENSElicense.txtlicense.txttext/plain; charset=utf-81748https://repositorio.ulima.edu.pe/bitstream/20.500.12724/2572/2/license.txt8a4605be74aa9ea9d79846c1fba20a33MD5220.500.12724/2572oai:repositorio.ulima.edu.pe:20.500.12724/25722024-10-23 11:34:42.999Repositorio Universidad de Limarepositorio@ulima.edu.peTk9URTogUExBQ0UgWU9VUiBPV04gTElDRU5TRSBIRVJFClRoaXMgc2FtcGxlIGxpY2Vuc2UgaXMgcHJvdmlkZWQgZm9yIGluZm9ybWF0aW9uYWwgcHVycG9zZXMgb25seS4KCk5PTi1FWENMVVNJVkUgRElTVFJJQlVUSU9OIExJQ0VOU0UKCkJ5IHNpZ25pbmcgYW5kIHN1Ym1pdHRpbmcgdGhpcyBsaWNlbnNlLCB5b3UgKHRoZSBhdXRob3Iocykgb3IgY29weXJpZ2h0Cm93bmVyKSBncmFudHMgdG8gRFNwYWNlIFVuaXZlcnNpdHkgKERTVSkgdGhlIG5vbi1leGNsdXNpdmUgcmlnaHQgdG8gcmVwcm9kdWNlLAp0cmFuc2xhdGUgKGFzIGRlZmluZWQgYmVsb3cpLCBhbmQvb3IgZGlzdHJpYnV0ZSB5b3VyIHN1Ym1pc3Npb24gKGluY2x1ZGluZwp0aGUgYWJzdHJhY3QpIHdvcmxkd2lkZSBpbiBwcmludCBhbmQgZWxlY3Ryb25pYyBmb3JtYXQgYW5kIGluIGFueSBtZWRpdW0sCmluY2x1ZGluZyBidXQgbm90IGxpbWl0ZWQgdG8gYXVkaW8gb3IgdmlkZW8uCgpZb3UgYWdyZWUgdGhhdCBEU1UgbWF5LCB3aXRob3V0IGNoYW5naW5nIHRoZSBjb250ZW50LCB0cmFuc2xhdGUgdGhlCnN1Ym1pc3Npb24gdG8gYW55IG1lZGl1bSBvciBmb3JtYXQgZm9yIHRoZSBwdXJwb3NlIG9mIHByZXNlcnZhdGlvbi4KCllvdSBhbHNvIGFncmVlIHRoYXQgRFNVIG1heSBrZWVwIG1vcmUgdGhhbiBvbmUgY29weSBvZiB0aGlzIHN1Ym1pc3Npb24gZm9yCnB1cnBvc2VzIG9mIHNlY3VyaXR5LCBiYWNrLXVwIGFuZCBwcmVzZXJ2YXRpb24uCgpZb3UgcmVwcmVzZW50IHRoYXQgdGhlIHN1Ym1pc3Npb24gaXMgeW91ciBvcmlnaW5hbCB3b3JrLCBhbmQgdGhhdCB5b3UgaGF2ZQp0aGUgcmlnaHQgdG8gZ3JhbnQgdGhlIHJpZ2h0cyBjb250YWluZWQgaW4gdGhpcyBsaWNlbnNlLiBZb3UgYWxzbyByZXByZXNlbnQKdGhhdCB5b3VyIHN1Ym1pc3Npb24gZG9lcyBub3QsIHRvIHRoZSBiZXN0IG9mIHlvdXIga25vd2xlZGdlLCBpbmZyaW5nZSB1cG9uCmFueW9uZSdzIGNvcHlyaWdodC4KCklmIHRoZSBzdWJtaXNzaW9uIGNvbnRhaW5zIG1hdGVyaWFsIGZvciB3aGljaCB5b3UgZG8gbm90IGhvbGQgY29weXJpZ2h0LAp5b3UgcmVwcmVzZW50IHRoYXQgeW91IGhhdmUgb2J0YWluZWQgdGhlIHVucmVzdHJpY3RlZCBwZXJtaXNzaW9uIG9mIHRoZQpjb3B5cmlnaHQgb3duZXIgdG8gZ3JhbnQgRFNVIHRoZSByaWdodHMgcmVxdWlyZWQgYnkgdGhpcyBsaWNlbnNlLCBhbmQgdGhhdApzdWNoIHRoaXJkLXBhcnR5IG93bmVkIG1hdGVyaWFsIGlzIGNsZWFybHkgaWRlbnRpZmllZCBhbmQgYWNrbm93bGVkZ2VkCndpdGhpbiB0aGUgdGV4dCBvciBjb250ZW50IG9mIHRoZSBzdWJtaXNzaW9uLgoKSUYgVEhFIFNVQk1JU1NJT04gSVMgQkFTRUQgVVBPTiBXT1JLIFRIQVQgSEFTIEJFRU4gU1BPTlNPUkVEIE9SIFNVUFBPUlRFRApCWSBBTiBBR0VOQ1kgT1IgT1JHQU5JWkFUSU9OIE9USEVSIFRIQU4gRFNVLCBZT1UgUkVQUkVTRU5UIFRIQVQgWU9VIEhBVkUKRlVMRklMTEVEIEFOWSBSSUdIVCBPRiBSRVZJRVcgT1IgT1RIRVIgT0JMSUdBVElPTlMgUkVRVUlSRUQgQlkgU1VDSApDT05UUkFDVCBPUiBBR1JFRU1FTlQuCgpEU1Ugd2lsbCBjbGVhcmx5IGlkZW50aWZ5IHlvdXIgbmFtZShzKSBhcyB0aGUgYXV0aG9yKHMpIG9yIG93bmVyKHMpIG9mIHRoZQpzdWJtaXNzaW9uLCBhbmQgd2lsbCBub3QgbWFrZSBhbnkgYWx0ZXJhdGlvbiwgb3RoZXIgdGhhbiBhcyBhbGxvd2VkIGJ5IHRoaXMKbGljZW5zZSwgdG8geW91ciBzdWJtaXNzaW9uLgo=
dc.title.es_PE.fl_str_mv Aplicaciones de la física de plasmas en la industria
title Aplicaciones de la física de plasmas en la industria
spellingShingle Aplicaciones de la física de plasmas en la industria
Saettone Olschewski, Erich Arturo
Tecnología del plasma
Plasma physics
Plasma technology
Plasma CVD
Plasma PVD
Física del plasma
title_short Aplicaciones de la física de plasmas en la industria
title_full Aplicaciones de la física de plasmas en la industria
title_fullStr Aplicaciones de la física de plasmas en la industria
title_full_unstemmed Aplicaciones de la física de plasmas en la industria
title_sort Aplicaciones de la física de plasmas en la industria
author Saettone Olschewski, Erich Arturo
author_facet Saettone Olschewski, Erich Arturo
author_role author
dc.contributor.other.none.fl_str_mv Saettone Olschewski, Erich Arturo
dc.contributor.author.fl_str_mv Saettone Olschewski, Erich Arturo
dc.subject.none.fl_str_mv Tecnología del plasma
Plasma physics
Plasma technology
Plasma CVD
Plasma PVD
topic Tecnología del plasma
Plasma physics
Plasma technology
Plasma CVD
Plasma PVD
Física del plasma
dc.subject.es.fl_str_mv Física del plasma
description Se presentan las características y propiedades del estado ionizado de la materia, conocido como “plasma”, así como la clasificación, ventajas y beneficios que esta tecnología proporciona en diversas aplicaciones industriales. También se describen los reactores más utilizados para estos procesos: los de evaporación iónica (sputtering) de tipo glow discharge y los de resonancia ciclotrónica electrónica (ECR).
publishDate 2010
dc.date.issued.fl_str_mv 2010
dc.type.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/article
dc.type.other.none.fl_str_mv Artículo
format article
dc.identifier.citation.es_PE.fl_str_mv Saettone Olschewski, E. (2010). Aplicaciones de la física de plasmas en la industria. Ingeniería Industrial, (28), 195-210. Recuperado de http://revistas.ulima.edu.pe/index.php/Ingenieria_industrial/article/view/247/223
dc.identifier.issn.none.fl_str_mv 1025-9929
dc.identifier.uri.none.fl_str_mv https://hdl.handle.net/20.500.12724/2572
dc.identifier.journal.none.fl_str_mv Ingeniería Industrial
dc.identifier.doi.none.fl_str_mv https://doi.org/10.26439/ing.ind2010.n028.247
identifier_str_mv Saettone Olschewski, E. (2010). Aplicaciones de la física de plasmas en la industria. Ingeniería Industrial, (28), 195-210. Recuperado de http://revistas.ulima.edu.pe/index.php/Ingenieria_industrial/article/view/247/223
1025-9929
Ingeniería Industrial
url https://hdl.handle.net/20.500.12724/2572
https://doi.org/10.26439/ing.ind2010.n028.247
dc.language.iso.none.fl_str_mv spa
language spa
dc.relation.ispartof.none.fl_str_mv urn:issn:1025-9929
dc.relation.uri.es.fl_str_mv http://revistas.ulima.edu.pe/index.php/Ingenieria_industrial/article/view/247/223
dc.rights.*.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri.*.fl_str_mv https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
eu_rights_str_mv openAccess
rights_invalid_str_mv https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.publisher.none.fl_str_mv Universidad de Lima
dc.publisher.country.none.fl_str_mv PE
publisher.none.fl_str_mv Universidad de Lima
dc.source.none.fl_str_mv Repositorio Institucional - Ulima
Universidad de Lima
reponame:ULIMA-Institucional
instname:Universidad de Lima
instacron:ULIMA
instname_str Universidad de Lima
instacron_str ULIMA
institution ULIMA
reponame_str ULIMA-Institucional
collection ULIMA-Institucional
bitstream.url.fl_str_mv https://repositorio.ulima.edu.pe/bitstream/20.500.12724/2572/2/license.txt
bitstream.checksum.fl_str_mv 8a4605be74aa9ea9d79846c1fba20a33
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv MD5
repository.name.fl_str_mv Repositorio Universidad de Lima
repository.mail.fl_str_mv repositorio@ulima.edu.pe
_version_ 1847880468619329536
score 13.058573
Aplicaciones de la física de plasmas en la industria
Nota importante:
La información contenida en este registro es de entera responsabilidad de la institución que gestiona el repositorio institucional donde esta contenido este documento o set de datos. El CONCYTEC no se hace responsable por los contenidos (publicaciones y/o datos) accesibles a través del Repositorio Nacional Digital de Ciencia, Tecnología e Innovación de Acceso Abierto (ALICIA).

Ejemplares Similares