Microstructural analysis of nanostructured Zn O thin films
Descripción del Articulo
We present the experimental results obtained from microstructural analysis of ZnO thin lms with20, 50, and 100 nm in thickness, grown onto the commercial glass substrate by reactive sputtering.We analyze the quantitative information on the size of the crystalline domains, the texture directionof the...
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| Formato: | artículo |
| Fecha de Publicación: | 2020 |
| Institución: | Universidad Nacional Mayor de San Marcos |
| Repositorio: | Revistas - Universidad Nacional Mayor de San Marcos |
| Lenguaje: | español |
| OAI Identifier: | oai:ojs.csi.unmsm:article/20297 |
| Enlace del recurso: | https://revistasinvestigacion.unmsm.edu.pe/index.php/fisica/article/view/20297 |
| Nivel de acceso: | acceso abierto |
| Materia: | reactive magnetron sputtering ZnO thin film SEM XRR XRD pulverización catódica reactiva Capas delgadas de ZnO MEB RRX DRX |
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Microstructural analysis of nanostructured Zn O thin filmsAnálisis microestructural de películas delgadas nano estructuradas de Zn OUrbina-Yarupetán, M.A.Gonzalez, Juanreactive magnetron sputteringZnO thin filmSEMXRRXRDpulverización catódica reactivaCapas delgadas de ZnOMEBRRXDRXWe present the experimental results obtained from microstructural analysis of ZnO thin lms with20, 50, and 100 nm in thickness, grown onto the commercial glass substrate by reactive sputtering.We analyze the quantitative information on the size of the crystalline domains, the texture directionof the nanocolumns, their densities, thicknesses, surface and interface roughness obtained throughcharacterization techniques such as scanning electron microscope (SEM), X-ray reectivity (XRR)and X-ray diraction (DRX).Presentamos los resultados experimentales obtenidos del análisis microestructural de películas delgadas de ZnO con 20, 50 y 100 nm de espesor, crecidas sobre el sustrato de vidrio comercial por pulverización catódica reactiva. Analizamos la información cuantitativa sobre tamaño de los dominios cristalinos, dirección de textura de las nanocolumnas, sus densidades, espesores, rugosidad supercial y interfacial obtenida a través de técnicas de caracterización como la microscopía electrónica de barrido (MEB), la reflectividad de rayos X (XRR) y la difracción de rayos X (DRX).Universidad Nacional Mayor de San Marcos2020-12-25info:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionapplication/pdfhttps://revistasinvestigacion.unmsm.edu.pe/index.php/fisica/article/view/2029710.15381/rif.v23i2.20297Revista de Investigación de Física; Vol. 23 No. 2 (2020); 26-31Revista de Investigación de Física; Vol. 23 Núm. 2 (2020); 26-311728-29771605-7724reponame:Revistas - Universidad Nacional Mayor de San Marcosinstname:Universidad Nacional Mayor de San Marcosinstacron:UNMSMspahttps://revistasinvestigacion.unmsm.edu.pe/index.php/fisica/article/view/20297/16647Derechos de autor 2020 María Urbina, Juan Gonzalezhttps://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0info:eu-repo/semantics/openAccessoai:ojs.csi.unmsm:article/202972021-08-16T12:12:24Z |
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We present the experimental results obtained from microstructural analysis of ZnO thin lms with20, 50, and 100 nm in thickness, grown onto the commercial glass substrate by reactive sputtering.We analyze the quantitative information on the size of the crystalline domains, the texture directionof the nanocolumns, their densities, thicknesses, surface and interface roughness obtained throughcharacterization techniques such as scanning electron microscope (SEM), X-ray reectivity (XRR)and X-ray diraction (DRX). |
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Revista de Investigación de Física; Vol. 23 No. 2 (2020); 26-31 Revista de Investigación de Física; Vol. 23 Núm. 2 (2020); 26-31 1728-2977 1605-7724 reponame:Revistas - Universidad Nacional Mayor de San Marcos instname:Universidad Nacional Mayor de San Marcos instacron:UNMSM |
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Nota importante:
La información contenida en este registro es de entera responsabilidad de la institución que gestiona el repositorio institucional donde esta contenido este documento o set de datos. El CONCYTEC no se hace responsable por los contenidos (publicaciones y/o datos) accesibles a través del Repositorio Nacional Digital de Ciencia, Tecnología e Innovación de Acceso Abierto (ALICIA).
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