Estudio de la influencia de la variación del flujo de acetileno y del voltaje de polarización del sustrato sobre el estrés interno de películas Ti-DLC

Descripción del Articulo

En esta tesis presentamos los estudios realizados sobre el estrés interno de películas delgadas titanio-carbón tipo diamante (titanium-diamond like carbon), producidas por la técnica magnetron sputtering, sobre sustratos de obleas de silicio en un ambiente controlado de gases de argón y acetileno. E...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autor: Ponce Montenegro, Shirley
Formato: tesis de maestría
Fecha de Publicación:2018
Institución:Consejo Nacional de Ciencia Tecnología e Innovación
Repositorio:CONCYTEC-Institucional
Lenguaje:español
OAI Identifier:oai:repositorio.concytec.gob.pe:20.500.12390/1725
Enlace del recurso:https://hdl.handle.net/20.500.12390/1725
Nivel de acceso:acceso abierto
Materia:Técnica Magnetron Sputtering
Acetileno
Películas Ti-DLC
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Estudio de la influencia de la variación del flujo de acetileno y del voltaje de polarización del sustrato sobre el estrés interno de películas Ti-DLC
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