Las películas delgadas de nitruro de zirconio y de nitruro de carbono fueron simulados con los programas computacionales de TRIM y T-DYN: (i) Con el programa TRIM, se determinó el intervalo de la R(I/A) en el cual es posible depositar las películas delgadas. Este valor de la R(I/A) es menor o igual a 2,5 para nitruro de zirconio, mientras para nitruro de carbono los valores de la R(I/A) son menores a 3,30, 4,44 y 6,67 para energía de iones de 600, 400 y 200 eV, respectivamente, mostrando una dependencia energética. Sin embargo, en la literatura se reporta que la R(I/A) es menor que 2,63 para nitruro de carbono en el mismo rango de la energía, no habiendo la dependencia energética; en cambio, para nitruro de zironio, no se tiene ningún reporte experimental. Aquella diferencia para nitruro de carbono es debido al rendimiento sputtering químico, ya que no está incluido este fenóm...