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tesis doctoral
Publicado 1997
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En esta tesis se estudió un nuevo material para aplicaciones como sensor de gas. Películas delgadas y "gruesas" del tungstato estannoso fueron obtenidas para estudiar las propiedades eléctricas, ópticas y su respuesta a diferentes gases. Películas delgadas de alfa-SnWO4 fueron obtenidas sobre substratos de Si (111) térmicamente oxidado y vidrio mediante la técnica de "sputtering" reactivo en una atmósfera de 11% O2/Ar donde el blanco de tungsteno fue operado en el modo RF y el de estaño en el modo DC. Las películas obtenidas fueron sometidas a un tratamiento térmico a las temperaturas de 400 °C y 600 °C en atmósfera reducida durante 4 horas para estudiar la evolución estructural y determinar como el tratamiento térmico influye en su estructura. La película delgada obtenida aplicando una potencia de 150 W a cada blanco adopta una estructura policristalina correspondiente ...