En este trabajo, se presenta un estudio sistemático de la influencia del tratamiento térmico postdeposición sobre las propiedades estructurales, eléctricas y ópticas de películas delgadas de óxido de indio dopadas con estaño. Los tratamientos térmicos de recocido se llevaron a cabo en una atmósfera de argón y de aire. Estas películas fueron depositadas a través de la técnica de pulverización catódica de radio frecuencia sobre sustratos de sílice fundida con un target de ITO de alta densidad (90wt. % In2O3 y 10 wt %Sn02). El recocido en argón y en aire aumentan el tamaño de grano con el incremento de la temperatura. Tanto el recocido en argón como en aire disminuyeron la resistividad eléctrica hasta después de tratamientos térmicos a 400ºC. A más de 400ºC, el recocido en aire aumenta la resistividad mientras que el recocido en argón disminuye la resistividad del...

Las películas de óxido de indio dopado con estaño fueron producidas por pulverizaci ón catódica de radio frecuencia sobre sustratos de sílice fundida en condiciones de baja temperatura de sustrato. Las muestras fueron tratadas térmicamente dentro de una atmósfera inerte a diferentes temperaturas para evaluar la evolución de las constantes ópticas y propiedades electricas respecto a la temperatura de calentamiento, con la nalidad de proporcionar un rango más amplio de las propiedades ópticas y eléctricas del material. Se evalúan los modelos de Drude, Hamberg y Sernelius para la absorción de portadores de carga en la región infrarroja y la capacidad de determinar la resistividad eléctrica a partir de medidas de transmitancia óptica. La resistividad eléctrica, composición elemental, índice de refracción, coe ciente de extinci ón, energía de Urbach, ancho de banda óp...

Las películas de óxido de indio dopado con estaño fueron producidas por pulverizaci ón catódica de radio frecuencia sobre sustratos de sílice fundida en condiciones de baja temperatura de sustrato. Las muestras fueron tratadas térmicamente dentro de una atmósfera inerte a diferentes temperaturas para evaluar la evolución de las constantes ópticas y propiedades electricas respecto a la temperatura de calentamiento, con la nalidad de proporcionar un rango más amplio de las propiedades ópticas y eléctricas del material. Se evalúan los modelos de Drude, Hamberg y Sernelius para la absorción de portadores de carga en la región infrarroja y la capacidad de determinar la resistividad eléctrica a partir de medidas de transmitancia óptica. La resistividad eléctrica, composición elemental, índice de refracción, coe ciente de extinci ón, energía de Urbach, ancho de banda óp...