Construction equipment spin coating cost low for thin film deposition of TiO2 on different substrates [Construcción de equipo de recubrimiento por centrifugación de bajo costo para deposición de películas delgadas de TiO2 sobre diferentes sustratos] - Rojas-Flores, S. (2020)
RESUMEN En este trabajo de investigación se construyó un equipo para la fabricación de películas delgadas por recubrimiento mediante centrifugación (spin coating). Se usó un motor (AC/ FORDOM 2003LK 220V/60HZ) con temporizador (H5CX) para el control de las velocidades constantes de 1000 a 6000 rpm por 100 s. los cuales se lograron medir con un tacómetro óptico (LASER USB UNI-T UT372). Las películas de TiO2 fabricadas por el equipo, fueron depositadas sobres tres sustratos diferentes (ITO, Si y vidrio), las cuales fueron recocidas a 500°C después de las decima capa, con la finalidad de mejorar su estructura. Las películas fueron caracterizadas median un microscopio electrónico de barrido (MEB-T ECSAN VEGA 3 LM), difractograma de rayos X (DRX-BRUKER, D8 ADVANCED ECO) y Infrarrojo con transformada de Fourier (FITR- Thermo Scientific IS50). El DRX muestra que todas las películas poseen estructura anatase pura, con un crecimiento preferencial en el pico (101), así como el FTIR muestra el modo de vibración en el pico 433 cm-1 perteneciente a la fase anatase. En los resultados de MEB se pueden observar que los grosores de las películas están en el orden de los nanometros, siendo las películas de dióxido de titanio (TiO2) depositadas sobre Si las que poseen un grosor de 332.10 nm, menos de la mitad en comparación con las otras dos. El EDS del MEB muestra la presencia de átomos de Ti y O pertenecientes a las películas de TiO2. Se concluye que se logró construir un equipo de spin coating a bajo costo verificado con la fabricación de películas de TiO2 uniformes.