Propiedades ópticas y eléctricas de películas delgadas de óxido de indio dopado con estaño - Piñeiro Sales, Miguel (2020)
En este trabajo, se presenta un estudio sistemático de la influencia del tratamiento térmico postdeposición sobre las propiedades estructurales, eléctricas y ópticas de películas delgadas de óxido de indio dopadas con estaño. Los tratamientos térmicos de recocido se llevaron a cabo en una atmósfera de argón y de aire. Estas películas fueron depositadas a través de la técnica de pulverización catódica de radio frecuencia sobre sustratos de sílice fundida con un target de ITO de alta densidad (90wt. % In2O3 y 10 wt %Sn02). El recocido en argón y en aire aumentan el tamaño de grano con el incremento de la temperatura. Tanto el recocido en argón como en aire disminuyeron la resistividad eléctrica hasta después de tratamientos térmicos a 400ºC. A más de 400ºC, el recocido en aire aumenta la resistividad mientras que el recocido en argón disminuye la resistividad del material. De esta forma se evalúa el impacto de la atmósfera y temperatura de recocido en la resistividad eléctrica. La resistividad más baja obtenida en este trabajo fue de 2,5 x 10-4 Ω-cm, después de calentar en argón a 500ºC. La transmitancia de la película en el rango visible no presentó ninguna diferencia notable tanto en el recocido en argón como en aire. No obstante, los parámetros ópticos, como el índice de refracción, coeficiente de absorción, ancho de banda y energía de Urbach son evaluados en función de la temperatura de recocido.