Diseño de un interferómetro de Mach-Zehnder en una oblea de silicio sobre aislante para aplicaciones en bio-sensores - Jara Poma, Freddy Orlando (2022)
Realiza la propuesta de un dispositivo óptico integrado capaz de ser usado como biosensor, pues muchos de los dispositivos de detección de sustancias se basan en equipamiento biológico o químico. Este dispositivo está conformado por guías de onda nanométricas de silicio y es capaz de generar interferencia de la luz ante cambios mínimos en el índice de refracción (10−3 y 10−2) de la sustancia a medir que lo rodea. El dispositivo propuesto es un interferómetro de Mach-Zehnder y se estudian tres diseños distintos usando silicio sobre aislante, que es una tecnología de fabricación de dispositivos ópticos de silicio. Para cada diseño se estudia el comportamiento del campo electromagnético a la salida del interferómetro y se obtiene las sensibilidades en un rango de longitud de onda de 1.3 a 1.6 μm.