Aplicaciones de la física de plasmas en la industria - Saettone-Olschewski, Erich (2015)
Se presentan las características y propiedades del estadoionizado de la materia, conocido como “plasma”, así como la clasificación, ventajas y beneficios que esta tecnología proporciona en diversas aplicaciones industriales. También se describen los reactores más utilizados para estos procesos: los de evaporación iónica (sputtering) de tipo glow discharge y los de resonancia ciclotrónica electrónica (ECR).