Estudio de los parámetros de crecimiento sobre las propiedades de recubrimientos Ag-DLC y Cr-DLC depositados por Magnetron Sputtering - Calderón Ipanaque, Noely Zully (2018)
El presente trabajo tiene por objetivo construir y poner en operación un magnetron para blancos de 2” de diámetro con el fin de producir y estudiar las propiedades de películas delgadas a base de Plata y de Cromo inmersas en una matriz de carbon amorfo tipo diamante (Ag-DLC y Cr-DLC), mediante la técnica de magnetron sputtering. Las películas fueron depositadas sobre obleas de silicio de 2” de diámetro usando blancos de Ag y Cr con 99,99% de pureza. El estrés interno y la dureza de las películas fueron medidos con el sistema de curvatura de obleas de silicio y nanoindentación, respectivamente. La morfología y espesor de las películas fueron medidas por microscopia electrónica de barrido (MEB). La composición y estructura química fueron medidas por espectroscopia Auger y Raman, respectivamente. Los resultados para las películas de Ag-DLC muestran que las condiciones para obtener una alta dureza están asociadas a cambios en su composición química producto de la aplicación de un voltaje de bias al sustrato. Para el caso de películas de Cr-DLC, el estrés interno pasa de tracción (positivo) en ausencia de gas de acetileno, a compresivo (negativo) a medida que aumenta el flujo de gas de acetileno. Mientras que con el aumento del voltaje de bias, el estrés compresivo en películas de Cr-DLC aumenta en valor absoluto. Los resultados son explicados en términos de los efectos de los parámetros de deposición sobre la composición química y estructural en las películas de Ag-DLC y Cr-DLC.