Producción y caracterización de multicapas de alta dureza basadas en nitruro de titanio por técnica DC Magnetrón Sputtering - Asencios Rojas, Junior David (2016)
En este tesis se exploran las posibilidades de obtener mejoras en la dureza en tres tipos diferentes de sistemas de multicapa: TiN/AlN, TiN/NbN y TiN/TaN, producidos por la técnica bias-dc magnetron sputtering en las mismas condiciones de deposición. La estructura de las múltiples capas y su composición química fueron confirmadas por GDOES (Espectroscopia de Emisión Óptica en Descarga Luminosa). Se muestran también análisis químicos complementarios por AES y EDS. La estructura cristalina de las capas componentes se estudió mediante XRD (difracción de rayos X). La microdureza se midió mediante el uso de un microdurómetro Vickers clásico y SEM (Microscopía Electrónica de Barrido), así como, por nanoindentación. La corriente de corrosión se determinó por método de extrapolación Tafel.