Aplicaciones de la física de plasmas en la industria

Descripción del Articulo

Se presentan las características y propiedades del estado ionizado de la materia, conocido como “plasma”, así como la clasificación, ventajas y beneficios que esta tecnología proporciona en diversas aplicaciones industriales. También se describen los reactores más utilizados para estos procesos: los...

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Detalles Bibliográficos
Autor: Saettone Olschewski, Erich Arturo
Formato: artículo
Fecha de Publicación:2010
Institución:Universidad de Lima
Repositorio:ULIMA-Institucional
Lenguaje:español
OAI Identifier:oai:repositorio.ulima.edu.pe:20.500.12724/2572
Enlace del recurso:https://hdl.handle.net/20.500.12724/2572
https://doi.org/10.26439/ing.ind2010.n028.247
Nivel de acceso:acceso abierto
Materia:Tecnología del plasma
Plasma physics
Plasma technology
Plasma CVD
Plasma PVD
Física del plasma
Descripción
Sumario:Se presentan las características y propiedades del estado ionizado de la materia, conocido como “plasma”, así como la clasificación, ventajas y beneficios que esta tecnología proporciona en diversas aplicaciones industriales. También se describen los reactores más utilizados para estos procesos: los de evaporación iónica (sputtering) de tipo glow discharge y los de resonancia ciclotrónica electrónica (ECR).
Aplicaciones de la física de plasmas en la industria
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